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多晶硅（polycrystalsilicon）
多晶硅(polycrystalsilicon)
由大量取向不同的小的硅单晶体构成的薄膜或体硅材料称为多晶硅。非掺杂的多晶硅具有很高的电阻率，一般为106～107cm。多晶硅中由于大量晶粒间界的存在形成缺陷态，使自由载流子的浓度减少，散射大大增加，迁称率减少，杂质扩散系数增加。
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