涡轮分子泵（turbinemolecularpump）物理小知识

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涡轮分子泵（turbinemolecularpump）

涡轮分子泵(turbinemolecularpump)

由转子和定子组成，在转子上安有动轮叶，在定子上安有静轮叶，动静轮叶相间安排，在轮叶上装有许多斜置的叶片。按照动量传输的原理，碰撞到高速旋转的动轮叶叶片上的分子，在离开该表面时就获得了与表面速率相近的切向速率。在动轮叶不断的旋转下，形成气体从一方抽到另一方的抽气效果，具有一定的抽速。分子泵正常工作需小于10-2Torr的前置压强，经充分除气后的分子泵可获得10-10Torr的超高真空。由于动轮叶工作时处于高速旋转状态，所以它不能在磁场中工作。

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