⑴自扩散
是一种使发生互扩散的两种气体分子之间的差异尽量变小，使它们相互扩散的速率趋于相等的互扩散过程。较为典型的自扩散例子是同位素之间的互扩散。因为同位素原子仅有核质量的差异，核外电子分布及原子的大小均可认为相同，因而扩散速率几乎是一样的。例如若在CO2气体(其中碳为12C)中含有少量的碳为14C的CO2，就可研究后者在前者中由于浓度不同所产生的扩散。具有放射性的14C浓度可利用β衰变仪检测出。
⑵ 互扩散
例如把一容器用隔板分隔为左、右两部分，其中分别装有两种不会产生化学反应的气体A和B。两部分气体的温度、压强均相等，因而气体分子数密度也相等。若把隔板抽除，左边的A气体将向右边的B气体中扩散，同样右边的B气体将向左边的A气体中扩散。经过足够长的时间后，两种气体都将均匀分布在整个容器中，这就是互扩散。由于发生互扩散的两种气体分子的大小、形状可能不同，它们扩散速率也可能不同，所以互扩散仍是较复杂的过程。
⑶热扩散
1879年索里特发现物质两端的温度差也可引起扩散流。其扩散通量密度(在单位时间内在单位截面积上扩散的粒子数)
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